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【我國建設世界最大納米真空互聯(lián)實驗室】世界首個集材料生長、器件制備、測試分析為一體的納米領域大科學裝置——納米真空互聯(lián)綜合實驗站正在我國江蘇蘇州工業(yè)園區(qū)建設。這個實驗站相當于在太空建設了一個全真空的納

2017-03-28 09:55:11

【我國建設世界最大納米真空互聯(lián)實驗室】世界首個集材料生長、器件制備、測試分析為一體的納米領域大科學裝置——納米真空互聯(lián)綜合實驗站正在我國江蘇蘇州工業(yè)園區(qū)建設。這個實驗站相當于在太空建設了一個全真空的納米器件研發(fā)平臺。其總體方案是:用總長近500米的超高真空管道,將上百臺用于材料生長、器件制備、測試分析的大型儀器設備互聯(lián),實現(xiàn)樣品在不同設備之間傳送時其表面不被氧化、沾污,不被外界大氣環(huán)境所破壞。(科技日報)

責編 劉思琦

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