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【我國建設(shè)世界最大納米真空互聯(lián)實(shí)驗(yàn)室】世界首個(gè)集材料生長、器件制備、測試分析為一體的納米領(lǐng)域大科學(xué)裝置——納米真空互聯(lián)綜合實(shí)驗(yàn)站正在我國江蘇蘇州工業(yè)園區(qū)建設(shè)。這個(gè)實(shí)驗(yàn)站相當(dāng)于在太空建設(shè)了一個(gè)全真空的納

2017-03-28 09:55:11

【我國建設(shè)世界最大納米真空互聯(lián)實(shí)驗(yàn)室】世界首個(gè)集材料生長、器件制備、測試分析為一體的納米領(lǐng)域大科學(xué)裝置——納米真空互聯(lián)綜合實(shí)驗(yàn)站正在我國江蘇蘇州工業(yè)園區(qū)建設(shè)。這個(gè)實(shí)驗(yàn)站相當(dāng)于在太空建設(shè)了一個(gè)全真空的納米器件研發(fā)平臺。其總體方案是:用總長近500米的超高真空管道,將上百臺用于材料生長、器件制備、測試分析的大型儀器設(shè)備互聯(lián),實(shí)現(xiàn)樣品在不同設(shè)備之間傳送時(shí)其表面不被氧化、沾污,不被外界大氣環(huán)境所破壞。(科技日報(bào))

責(zé)編 劉思琦

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