每經(jīng)記者 黃鑫磊    每經(jīng)編輯 張海妮    

近日，天準(zhǔn)科技（688003，SH）董事長(zhǎng)徐一華在接受《每日經(jīng)濟(jì)新聞》記者采訪時(shí)表示，晶圓前道檢測(cè)設(shè)備在光學(xué)精度、軟件算法等方面綜合技術(shù)壁壘很高，相關(guān)市場(chǎng)被科磊（KLA-Tencor）、日立等幾家國(guó)外企業(yè)壟斷。

國(guó)內(nèi)雖有少數(shù)企業(yè)較早進(jìn)入晶圓前道檢測(cè)設(shè)備領(lǐng)域，著手研發(fā)部分產(chǎn)品，但總體而言，國(guó)內(nèi)企業(yè)目前與科磊等國(guó)外企業(yè)差距仍然很大，無法構(gòu)成實(shí)質(zhì)性威脅，國(guó)內(nèi)晶圓廠依然很大程度上依賴國(guó)外品牌的設(shè)備，因此前道晶圓檢測(cè)設(shè)備目前是我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)一個(gè)亟需突破的“卡脖子”領(lǐng)域。