每經AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：你好董秘,請問貴司特氣主要應用于哪些領域？是否會應用于汽車？

南大光電（300346.SZ）6月17日在投資者互動平臺表示，公司電子特氣板塊主要包括氫類電子特氣和含氟電子特氣產品。 氫類電子特氣主要包括磷烷、砷烷等，是半導體、LED、光伏、航天和國防事業(yè)的關鍵原材料。含氟電子特氣含氟電子特氣主要包括三氟化氮、六氟化硫等，其中三氟化氮是應用于微電子工業(yè)（如集成電路、平板顯示、太陽能薄膜等）的一種優(yōu)良等離子蝕刻和清洗材料；六氟化硫廣泛應用于輸配電及控制設備行業(yè)，高純六氟化硫可用于半導體材料的干法刻蝕清洗。

(記者 陳鵬程)

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