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和遠(yuǎn)氣體：一種保障單晶硅富氬尾氣提純高純氬氣供氣質(zhì)量的裝置取得發(fā)明專(zhuān)利證書(shū)

2023-05-07 16:32:58

和遠(yuǎn)氣體消息，近日，公司取得了1項(xiàng)發(fā)明專(zhuān)利，該發(fā)明專(zhuān)利“一種保障單晶硅富氬尾氣提純高純氬氣供氣質(zhì)量的裝置”是一種保障單晶硅富氬尾氣提純高純氬氣供氣質(zhì)量的裝置。該裝置系統(tǒng)保障了單晶硅富氬尾氣提純高純氬氣供氣的質(zhì)量。

責(zé)編 姚祥云

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