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華海清科：12英寸超精密晶圓減薄機(jī)量產(chǎn)機(jī)臺出貨

2023-05-21 16:38:35

每經(jīng)AI快訊，5月21日，華海清科公告，近日，公司新一代12英寸超精密晶圓減薄機(jī)Versatile-GP300量產(chǎn)機(jī)臺出機(jī)發(fā)往集成電路龍頭企業(yè)。12英寸超精密晶圓減薄機(jī)是業(yè)內(nèi)首次實(shí)現(xiàn)12英寸晶圓超精密磨削和CMP全局平坦化的有機(jī)整合集成設(shè)備，Versatile-GP300量產(chǎn)機(jī)臺可穩(wěn)定實(shí)現(xiàn)12英寸晶圓片內(nèi)磨削總厚度變化＜1um和減薄工藝全過程的穩(wěn)定可控。

責(zé)編 張楊運(yùn)

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