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國林科技：公司電子級超純臭氧氣體發(fā)生器可產(chǎn)生高濃度、大流量、高壓力的超潔凈臭氧

每日經(jīng)濟新聞 2024-05-30 16:15:35

國林科技（300786.SZ）5月30日在投資者互動平臺表示，公司電子級超純臭氧氣體發(fā)生器可產(chǎn)生高濃度、大流量、高壓力的超潔凈臭氧，臭氧在電子工業(yè)領(lǐng)域可被廣泛用于形成 CVD 和 ALD 薄膜、氧化物生長、光 刻膠去除和多種清潔應(yīng)用；公司暫未涉及光 刻機業(yè)務(wù)。

(記者 蔡鼎)

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