每經(jīng)訊，據(jù)啟信寶，新三板創(chuàng)新層公司立光電子（874135）新增專(zhuān)利信息，專(zhuān)利權(quán)人為立光電子，發(fā)明人是胡超川、傅強(qiáng)、朱磊、毛祖攀。專(zhuān)利授權(quán)日為2024年10月29日，專(zhuān)利名稱(chēng)為“一種磁控濺射旋轉(zhuǎn)陰極結(jié)構(gòu)”，專(zhuān)利類(lèi)型為中國(guó)實(shí)用新型專(zhuān)利，專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)枮镃N202420568697.1。

該專(zhuān)利摘要顯示：本實(shí)用新型公開(kāi)了一種磁控濺射旋轉(zhuǎn)陰極結(jié)構(gòu)，所述結(jié)構(gòu)包括結(jié)構(gòu)主體，所述結(jié)構(gòu)主體包括工藝氣路，工藝氣路包括主氣管和多段輔助氣管分段調(diào)節(jié)，所述結(jié)構(gòu)主體還包括端頭護(hù)罩、上端支撐護(hù)罩、靶材卡箍護(hù)罩，本方案采用分段布?xì)?，采用主氣管和多段輔助氣管分段調(diào)節(jié)，主氣管量程1000sccm，通入50?300sccm氬氣，50?300sccm氧氣，通過(guò)質(zhì)量流量計(jì)混合后進(jìn)入真空箱體陰極靶位處，七段輔助氣管通入氬氣、氧氣有效改善均勻性，輔助氣管量程100sccm，通入0?50sccm氬氣、0?50sccm氧氣，依據(jù)測(cè)試均勻性結(jié)果分別調(diào)整通入氣體量，有效改善均勻性。

(記者 曾健輝)

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