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中國電科:30臺套SiC外延設備順利發(fā)貨

每日經濟新聞 2025-02-09 23:46:01

每經AI快訊,2月9日,據中國電科官微消息,SiC外延設備是第三代半導體SiC器件制造的核心關鍵設備之一。裝載著30臺套SiC外延設備從中國電科48所園區(qū)順利發(fā)貨,這也是48所實現首次大規(guī)模批量發(fā)貨。目前,該設備已成功出貨百余臺套,并在客戶現場穩(wěn)定運行。

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